真のノンコンタクト™モードによるチップ先端鋭さの維持

AFMのチップは非常に壊れやすく、脆いため、サンプルに触れると同時に生成されるイメージの解像度と品質に即座に影響を及ぼします。軟らかく繊細なサンプルの場合、先端がサンプルに当たると、サンプルが損傷するため、サンプルの高さ測定が不正確になり、測定にかかる貴重な時間と費用が無駄になってしまう可能性もあります。真のノンコンタクト™モードは、ParkのAFMに搭載されている独自のスキャンモードであり、サンプルの完全性を維持しながら、高解像で正確なデータを一貫して生成します。

1：1のアスペクト比で示されている上記のサンプルイメージは、ParkのAFMで撮影した浅いトレンチ分離の未処理生データイメージです。深さは3.7㎛で、走査型電子顕微鏡（SEM）によって確認されています。右側の二つのイメージは、サンプルのイメージングを行う前と、２０回行った後での先端の様子ですが、２０回のイメージングを行った後でもチップ先端の摩耗はみられませんでした。

高速Zサーボによる正確なフィードバックにより、真のノンコンタクトAFMを実現

チップ摩耗やサンプル損傷の低減、高解像度イメージングの維持、高精度AFM測定と、ノンコンタクトモードを装備する原子間力顕微鏡の利点と優位性は十分に確立されています。ただし、フレクチャー式高速Zスキャナで真のノンコンタクト™モードを実現したのは、Parkのみです。真のノンコンタクト™モードでは、原子間力の正味の引力領域において、チップとサンプルの距離が数ナノメートルに維持されます。チップの振動の振幅が小さいため、チップとサンプルの相互作用が最小限に抑えられ、優れたチップ先端の維持とサンプル交換の面倒を省くことができます。

業界をリードするZサーボスピード

ParkのAFMは、業界で最も速いZサーボを備えています。高速スキャン中であっても、前方と後方のスキャンギャップはスキャン範囲の0.15％未満で保たれます。

WCフィルムサンプルの硬くて摩耗性の高い繊細な特徴は、Park AFMの高速Zサーボスピードの利点を際立たせています。真のノンコンタクト™モードでのスキャンにより、チップ先端の鋭さは維持され、トレースとリトレースはより高速なスキャンレートでも完全に一致することがわかります。