Park NX-TSH 仕様
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システム
仕様
サンプルサイズ*
520 mm x 520 mm x 12 mm, 10 kg
電動Xステージ*
625 mmまで移動、分解能±3 ㎛
電動Yステージ*
525 mmまで移動、分解能±3 ㎛
電動Zステージ*
Z移動距離15 mm、分解能0.08 ㎛、再現性 < 1 ㎛
電動フォーカスステージ*
Z移動距離9 mm、直上光学系
COGNEXパターン認識
パターンアライン分解能1/4ピクセル
スキャナー
性能
XYレンジ
100 ㎛ x 100 ㎛
XY分解能
0.15 nm
Zレンジ
15 ㎛
Z分解能
0.016 nm
AFMおよび
XYステージ制御
エレクトロニクス
ADC
18チャンネル
高速ADC 4チャンネル
X、YおよびZスキャナー位置センサー用24ビットADC
DAC
17チャンネル
高速DAC 2チャンネル
X、YおよびZスキャナー位置決め用20ビットDAC
コンプライアンス
CE
SEMI Standard S2/S8
振動・音響ノイズ・ESD性能
床振動
< 0.5 µm/s（アクティブ防振システム使用時、10Hz〜200Hz ）
アコースティックノイズ
アコースティックエンクロージャーによる>20 dB 減衰
設備条件
室温（待機時）
10 °C ~ 40 °C
室温（稼働時）
18 °C ~ 24 °C
湿度
30% ~ 60%（結露がないこと）
床振動レベル
VC-D基準（6μm/sec）
音響ノイズ
65dB 以下
排気系
真空：-80kPa
CDA (または N2): 0.7 MPa
電源
208V - 240 V, 単相、15A（最大）
総合消費電力
問い合わせ
グラウンド抵抗
100オーム以下
オプション
自動チップ交換（ATX）
自動チップ交換は、自動測定ルーチンをシームレスに継続するために、完全に自動化されたチップ交換を実行します。カンチレバーの位置を自動的にキャリブレーションし、レファレンスパターンの測定に基づいてパラメータ設定を最適化します。弊社の新しい磁気力による方法は、従来の真空による方法よりも高い99％の成功率を実現します。
イオナイザーシステム
イオナイザーは効果的に静電気を取り除きます。常に正と負のイオンの理想的なバランスを維持するため、帯電したものをイオン化し、周囲の領域を汚染することはありません。また、サンプルの取り扱い中に発生しうる偶発的な静電気のビルトインチャージも低減させます。
寸法・重量
NX-TSH
2334 mm(w) × 1450 mm(d) x 2450 mm(h), 約2720 kg（コントロールキャビネットを含む）
天井高：2500 mm以上
オペレーター作業スペース：3700mm（w）×3000mm（d）、最小値
