汎用性の高いAFMで生産性を大幅に向上
Park NX20 Liteは、多様な試料を扱う共同研究室、多変量解析やウェハーの故障解析に最適な多くの独自の機能を備えています。 また、リーズナブルな価格設定と充実した機能により、大型試料用AFMとしては業界で最も経済的な製品の一つとなっています。
マルチサンプルスキャンで簡単にできる試料の測定
- 1回の測定で複数の試料を自動イメージング
- 最大16個の試料を搭載できるマルチサンプルチャック (オプション)
- 最大150 mm x 150 mmまで移動できるモーター駆動式XYステージ
クロストークの除去による正確なXYスキャン
- 二つの独立したクローズドループXYおよびZフレクチャー式Zスキャナ
- フラットで直交するXYスキャンで湾曲を減少
- ソフトウェア補正を必要としない高精度測定
真のノンコンタクト™モードによる最高のチップ寿命、分解能、試料の保存性
- 高速Zサーボによる真のノンコンタクト™モードの実現
- チップの摩耗を最小限に抑え、高品質・高解像度のイメージングを長期間実現
多彩なモードとオプション
- 包括的な測定モードと特性評価
- オプションのアクセサリやアップグレードで機能の拡張
- 故障解析 (FA) のための高度な電気測定
×