Park NX-Hybrid WLI

파크시스템스는 최근 반도체 후공정 및 패키징 분야에서 3D 측정에 사용되는 White light Interferometry (WLI) 모듈을 자체 개발하여, 이를 기존의 전자동산업용 AFM에 (full automation industrial) 결합한 NX-Hybrid WLI 장비를 산업용 장비 제품군에 추가 하였습니다.

이번에 개발된 WLI 모듈은 기존의 파크시스템스의 원천기술인 AFM의 초정밀 제어기술을 접목하여 타사의 기존 WLI 제품보다 정밀도에서 많은 개선을 가져온 제품입니다.

WLI 기술은 0.1 나노미터의 초정밀 높이(vertical) 분해능과 AFM 대비 고속 측정이 가능한 장점이 있는 반면, 광학 분해능 한계로 인해 공간 분해능이 수백 나노미터 수준이고, 빛이 투과하는 투명한 물질에는 사용이 어렵다는 단점이 있어 주로 수 마이크로미터 이상 크기의 구조물의 3D 측정에 주로 사용되고 있습니다.

파크시스템스가 이번에 개발한 NX-Hybrid WLI 장비는 WLI와 AFM 기술을 하나의 장비로 통합한 세계 최초의 하이브리드 장비로써, 각각의 기술의 단점을 상호 보완하여 반도체 후공정 및 패키지 분야 뿐만 아니라 반도체 전공정에서도 나노 구조물을 빠르고 정밀하게 측정 가능한 솔루션을 제공할 수 있는 장비 입니다.

특히 WLI와 AFM이 동시에 필요한 고객에게는 하나의 장비에서 두 가지 측정을 수행할 수 있어 클린룸 내에서의 시간과 공간의 절약 및 비용을 절약할 수 있는 장점을 가지고 있습니다.

좀 더 자세한 설명과 영상은 아래 링크에서 보실 수 있습니다.