| お問い合わせ

Park FX40​
A New Class of Atomic Force Microscope: The Automatic AFM
Accelerate your research!
複数のサンプルイメージを今まで以上に鮮明でクリアな最高の解像度で。FX40には、人工知能(AI)とロボティクスが 
搭載されており、自動化されたプロセスと機械学習(ML)をこなし、前例のないスピードと精度で科学的発見と進歩を後押します。
新しく追加されたカメラセンサー群は、レーザーと光検出器、早期警告システム、誤作動を防ぐフェイルセーフと自動的に同期し、
あらゆる段階で情報が抽出、保存されます。これまでの複雑なトレーニングなしですべてのユーザーは研究に没頭することができます。
複数のサンプルイメージを今まで以上に鮮明でクリアな最高の解像度で。FX40には、人工知能(AI)とロボティクスが 
搭載されており、自動化されたプロセスと機械学習(ML)をこなし、前例のないスピードと精度で科学的発見と進歩を後押します。
新しく追加されたカメラセンサー群は、レーザーと光検出器、早期警告システム、誤作動を防ぐフェイルセーフと自動的に同期し、
あらゆる段階で情報が抽出、保存されます。これまでの複雑なトレーニングなしですべてのユーザーは研究に没頭することができます。

FX40 Product Video Brochure

経験したことのない
人工知能(AI)搭載型AFM

Park FXは、ボタンをクリックするだけで自動的にプローブを変更、交換することができ、
手動交換により生じるトラブルやチップの汚染を防ぎます。また、QRコードで
プローブ情報を読み取るため、用途に合ったプローブを適切に使うことができます。



自動プローブ交換

プローブ交換の完全自動化により、
古いプローブを簡単かつ安全に交換
できます。8つのプローブがセット
されているカセットと磁気制御機構を
活用することで、ユーザーの操作
なしにプローブの取り付けが可能と
なりました。



プローブ情報読み取り

チップキャリアに刻印されているQRコードをプローブ認識カメラで読み取り、プローブのタイプ、モデル、対応アプリケーション、使用法など、プローブの情報をすべて抽出し、表示します。この機能により、各ジョブに最適なプローブを選ぶことができます。


自動レーザーアライメント

自動レーザーアライメントは、
レーザーをカンチレバーの適切な位置に
配置し、PSPDの位置も垂直方向と
横方向の両方向で調整し、最適化
します。たったのワンクリックで
X、Y、Z軸を動かし、歪みのない鮮明な
イメージを出力します。

デュアルカメラシステムによる
プローブとサンプル位置の
自動ペアリング

Play Video
サンプルカメラ

同時に4つの異なるサンプルをサンプルチャックに
配置でき、 サンプルカメラで全体を確認しながら
個々のサンプルをナビゲーションすることができます。

Play Video
プローブ認識カメラ

プローブ認識カメラで各ジョブに合ったプローブを
識別します。随時プローブの データベース(タイプ、
対応アプリケーション、用途など)にアクセスして
適切なプローブ 情報をたったのワンクリックで表示
および選択できます。

アップデートする度に賢くなる
機械学習(ML)システム ​

Park FX40は機械学習(ML)システムが搭載されており、
プローブが正しく配置されているかどうかを自動的に
検出します。スマートビジョンは、プローブの位置を
ナノレベルに特定し、必要に応じエラーステータスレポートを
生成します。ソフトウェアがアップデートされる度に
システムはアップグレードされ、数万にわたる
シミュレートされたエラーとエラーレポートを比較し、
問題解決へと導きます。 ​

AFMで経験したことのない正確性とスピードを誇る
真のノンコンタクト™モード


真のノンコンタクト™モードは、サブナノメートルスケールでプローブとサンプルの距離を精密に 制御します。
Park FX40は、市場に出ているどのAFMよりも高速で正確な真のノンコンタクト™モードを実現します。

安全装置

サンプルとチップを最大限に保護するための安全な
プローブのランディング

プローブとサンプルのクラッシュを防止するために、ソフトウェアインターロックと
ハードウェアスイッチを組み合わせたことで、プローブとAFMスキャナを保護します。
アルゴリズムプログラミングにより、Zステージはサンプル表面とプローブが
衝突する範囲まで下がらず、サンプルとAFMの安全性を保ちます。




環境感知センサー

SmartScan™は、温度、湿度、
レベリング、振動など 、測定において
重要な環境条件をセンサーで感知し、
表示およびデータを保存します。
これにより、測定したイメージは
様々な環境チャネルとの比較ができ、
環境指標を導き出すことができます。


安全なプローブのピックアップ

自動と手動どちらでもプローブの取り付けが
できます。もし誤って取り付けたとしても、
搭載されているロボティクスと機械学習(ML)
アルゴリズムにより 、誤って配置されたプローブが
検出され、システムが警告してユーザーに
知らせます。また、プローブのロード中に様々な
エラーステータスレポートにアクセスして、
最高の精度を確保します。

AFM史上最高の経験を―FX用ParkオペレーティングソフトウェアSmartScan™ クリックするだけでできるスキャン

1. セットアップ

Auto Setting

システムのセットアップからサンプル配置など 、AFMの使用方法について簡単なアニメーションチュートリアルが用意されています。

2. ポジション

Sample Navigation

カンチレバーの周波数を自動的にスィープし た後、Zステージをサンプルに近づけて自動で焦点を合わせます。ここで、イメージングしたい領域に自由に移動することもできます。

3. イメージング

焦点を合わせるとシステムにより適切なパラメータが設定され、カンチレバーを使ってサンプルがスキャンされます。その後は、信じられないほど高解像度のイメージがスキャンされるまで待つのみです。

Park FX40 Specs

XY Scanner

Structure


▪ Single-module, parallel-kinematic 2D flexure scanner
▪ Better symmetry than serial-kinematic flexure scanner

XY scan range


▪ 100 µm x 100 µm
Z Scanner

Structure


▪ Flexure-guided high-force scanner
▪ Better symmetry than serial-kinematic flexure scanner

Z scan range


▪ 15 µm
Sample mount

Mounting


▪ Magnetic holder (Max. 4 sample disc)
▪ FX Snap-in Sample Disk for Multi Snap-in Sample Chuck
Stages

Z stage travel range


▪ 22 mm (Motorized)
Visions and optics

Vision path


▪ On-axis sample view from top
▪ The same view as an optical microscope

CCD


▪ 5.1 M Pixel
▪ Pixel size: 3.45 μm x 3.45 μm
AFM Controller

Lock-in amp


▪ 4 channels integrated DC - 5 MHz


Accessories

Probe exchange


▪ Probe exchange in less than 1 minutes using Automated Probe Exchange
(No need to remove head to exchange cantilevers)


Probe mount


▪ Pre-aligned mount using chip carrier

Park FX40

f0 test 2