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开尔文探针力显微镜 (KPFM) 是一种静电力显微镜 (EFM) 技术，被广泛应用于研究各种导电或半导体样品表面电特性。KPFM 提供局部表面电位分布的定量结果，或者，校准后，测量样品的功函数。KPFM 广泛用于研究和工业中，用于对各种应用（如聚合物化合物或太阳能电池等电子设备）的功函数变化进行成像。 在本次网络研讨会中，我们将展示开尔文探针力显微镜 (KPFM) 在 Park FX40全自动化原子力显微镜上的原理和应用。

随着半导体芯片技术进展，元器件特征尺寸横向微缩的同时，对于元器件纵向维度上的微缩、堆叠与平坦化控制也随之日趋重要，相关线上制程监控也越来越重要。传统量测仪器面对于纵向维度上制程监控需求正面临着挑战，然而原子力显微镜因其优异的纵向解析度与灵敏度，近年来也获得越来越多的关注。本文介绍原子力显微镜于现今半导体芯片制程技术的量测应用，以及其未来展望与挑战。

この度新たに、産業用AFMにつきましてもウェビナーを開催いたします。弊社では半導体関係でのAFM計測のご要望に応えるため、300mmウエハーの自動搬送に対応したNX-Waferをはじめとする装置ラインナップを取り揃え、表面粗さや形状計測といった用途のみならず、プロファイラー機能や平坦基板の欠陥自動計測といったオプションも取り揃えております。今回のウェビナーは、これらの計測技術をご紹介し、ウェビナーをご聴講いただく皆様のお困りごとを解決するきっかけとなれば幸いです。

Magnetic Force Microscopy (MFM) is a well-known non-contact scanning probe (SPM) technique established for more than 35 years by now, that is capable of mapping near-surface magnetic textures and structures down to the 10-nm-spatial resolution. MFM becomes an indispensable and complementary tool in modern-type material analysis, especially when focusing for instance on topological and low-dimensional systems.